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            專業鑄就價值,合作成就未來

            鏈式制絨機5道/8道/10道

            鏈式制絨機5道/8道/10道

            主要功能:

            用于多晶硅片的損傷層去除、制絨、清洗、干燥。



            0512-66163090
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            設備性能

            可調傳動速度:0.5-3m/min

            常規運行速度:2.5m/min

            產能: Up to 4000 Wafers/H@20mm

                       Up to 6800 Wafers/H@20mm

                       Up to 8000 Wafers/H@20mm

            設備有效利用率:≥98%

            刻蝕深度范圍:3.5~4.5μm

            碎片率:≤0.03%

             

            硅片規格

            硅片厚度:≥140μm

            硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

             

            設備尺寸 

            長*寬*高:根據選型確定尺寸

             

            傳動

            傳動類型:5 lane/6 lane

            軸間距:60mm

            主傳動軸:17mm,Hexagon

            傳動滾輪:Φ32mm

             

            方向

            工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

             

            電力供應

            供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

            控制電源:DC 24V

            滿載電源:75A

            建議最大保險絲規格:100A

             

            安裝要求

            最小地面承重:75Kg/㎡

            最低車間高度:3.5m

            無塵室級別:ISO7(10K Class)

            環境溫度:17℃<RT<30℃

            最大濕度:70%


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